CVD管式爐由管式爐+真空系統+供氣系統組成，大溫度可以達到1200度，可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
CVD管式爐產品特點：
1、控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司知識產權設計,提高操作便捷性。
3、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。
CVD管式爐使用注意事項：
1、冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。
2、定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
3、使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
4、爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現象。
時間：2024-10-22
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